カーボン製品
本製品は、高密度/高純度な特殊炭素材料で、半導体製造工程で幅広く使用されている高純度黒鉛材料や、半導体製造装置用部品に使用が実績あり、高純度化も可能なガラス状カーボンがございます。
ガラス状カーボン / Glass-like Carbon
ガラス状カーボン「耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料」
- 半導体・工業用部材
- カーボン製品
ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。
ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。
これらの優れた特徴から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。
【ガラス状カーボン共通の特徴】
・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵
・気体・液体の不透過性
・高純度 (製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能)
・高耐熱性、X線高透過性
【ガラス状カーボンビーズの特徴】
・滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用可能
・熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い
・気孔のない緻密な等方性組織
・中心粒径100μm、200μm
【多孔質ガラス状カーボンの特徴】
・ガラス状カーボンの特性に、さらに通気性、通液性を有する
・真空チャック用途などに使用実績あり
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
これらの優れた特徴から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。
【ガラス状カーボン共通の特徴】
・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵
・気体・液体の不透過性
・高純度 (製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能)
・高耐熱性、X線高透過性
【ガラス状カーボンビーズの特徴】
・滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用可能
・熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い
・気孔のない緻密な等方性組織
・中心粒径100μm、200μm
【多孔質ガラス状カーボンの特徴】
・ガラス状カーボンの特性に、さらに通気性、通液性を有する
・真空チャック用途などに使用実績あり
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
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基本情報
ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能です。これらの優れた特長から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。
滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用できるガラス状カーボンビーズと、ガラス状カーボンの特性にさらに通気性、通液性を併せ持ち、真空チャック用途などに使用実績がある多孔質ガラス状カーボンもございます。
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
用途／実績例
【主な用途】・プラズマエッチング、CVD装置用部材
・スパッタリングターゲット
・高純度耐薬品性部材
・分析装置用部材
・X線機器用部材
・造孔材(ガラス状カーボンビーズ)
・フィラー(ガラス状カーボンビーズ)
・真空チャック用部材(多孔質ガラス状カーボン)
・各種フィルタ(多孔質ガラス状カーボン)
・ガス拡散用部材(多孔質ガラス状カーボン)
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カーボン接着剤 / Carbon Adhesive
カーボン接着剤「炭素材料用の高強度・耐熱接着剤」
- 半導体・工業用部材
- カーボン製品
炭素材料用の高強度・耐熱接着剤。炭素材料の優れた特性を損なうことなく接着可能。
カーボン接着剤は炭素材料用（黒鉛材、C/Cコンポジット等）に開発された高強度・耐熱接着剤です。
接着剤自体を炭素化することで、炭素材料の優れた特性を損なうことなく接着できます。
【主な用途】
・黒鉛治具の接着
・SiCウェハの引き上げ用種結晶の接着
・高温真空・不活性ガス雰囲気での黒鉛、C/Cコンポジット同士の接着
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
接着剤自体を炭素化することで、炭素材料の優れた特性を損なうことなく接着できます。
【主な用途】
・黒鉛治具の接着
・SiCウェハの引き上げ用種結晶の接着
・高温真空・不活性ガス雰囲気での黒鉛、C/Cコンポジット同士の接着
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
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基本情報
カーボン接着剤は炭素材料用（黒鉛材、C/Cコンポジット等）に開発された高強度・耐熱接着剤です。接着剤自体を炭素化することで、炭素材料の優れた特性を損なうことなく接着できます。
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
用途／実績例
【主な用途】・黒鉛治具の接着
・SiCウェハの引き上げ用種結晶の接着
・高温真空・不活性ガス雰囲気での黒鉛、C/Cコンポジット同士の接着
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高純度黒鉛製品
高純度黒鉛製品「半導体をはじめ様々な産業で活躍」
- 半導体・工業用部材
- カーボン製品
半導体をはじめ様々な産業で活躍 高密度/高純度な特殊炭素材料 SiC膜を被覆したClear Carbon
高純度黒鉛材料は、半導体製造工程で幅広く使用されています。
さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンは、エピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で高く評価されています。
【特徴】
・半導体をはじめ様々な産業で利用（特殊な処理により灰分を3ppm以下に抑えています）
・特殊炭素材料：高密度／高均熱特性／高耐酸化性
・SiCコートグラファイト：高純度／優れた高温耐久性／高均熱特性
・高純度グレード：特殊炭素材料は、さらなる耐酸化消耗性を備え、半導体用途に適した高純度グレードも取り揃えております
・Fine Grain コーティング：枚葉サセプター用には、結晶の緻密なFine Grain コーティングもございます
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンは、エピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で高く評価されています。
【特徴】
・半導体をはじめ様々な産業で利用（特殊な処理により灰分を3ppm以下に抑えています）
・特殊炭素材料：高密度／高均熱特性／高耐酸化性
・SiCコートグラファイト：高純度／優れた高温耐久性／高均熱特性
・高純度グレード：特殊炭素材料は、さらなる耐酸化消耗性を備え、半導体用途に適した高純度グレードも取り揃えております
・Fine Grain コーティング：枚葉サセプター用には、結晶の緻密なFine Grain コーティングもございます
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
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基本情報
高温に強く、ヒートショックに耐えるクリアーカーボン！金属材料や他のセラミックス材料に見られない特性を活かしたクアーズテック社の各種炭素・黒鉛製品は、半導体をはじめ様々な産業で利用されています。
特に高純度黒鉛材料は、特殊な処理により灰分を3ppm以下に抑えており、シリコン単結晶引き上げ用ヒーター・ルツボ、液相エピタキシャル用ボートなど、半導体製造工程で幅広く使用されています。
さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンはエピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で高く評価されています。
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
用途／実績例
【用途】・クリアーカーボン(SiCコートグラファイト)サセプター、各種治具：Epi用
・シリコン単結晶引き上げ用ヒーター/カーボンルツボ/輻射シールド
・液相エピタキシャル用ボート
・化合物半導体溶融用ルツボ
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