センサー・温度制御
本製品は、酸化炉、拡散炉、LPCVD炉、アニール炉、RTP、エピタキシャル炉などの熱処理工程の温度制御・温度測定用センサーとして、新品、及び改鋳にて多数実績がございます。
高温炉用熱電対 / Thermocouple for High-temperature Furnace
高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」
- 半導体・工業用部材
- センサー・温度制御
高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に最適!
高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。
【特徴】
・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております。
・専用のクリーンルームにて生産しています。
・高精度を実現します。
厳選された素線(高純度材料)を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします。
・高温炉内温度を正確に測定いたします。
・最先端装置に搭載されています。
・校正証明書、トレーサビリティ証明書の発行も可能です。
ISO管理基準に基づく精度確認の為の温度校正も行っており、トレーサビリティ証明書、校正証明書を発行いたします。
※詳しくはお問い合わせください。
【特徴】
・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております。
・専用のクリーンルームにて生産しています。
・高精度を実現します。
厳選された素線(高純度材料)を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします。
・高温炉内温度を正確に測定いたします。
・最先端装置に搭載されています。
・校正証明書、トレーサビリティ証明書の発行も可能です。
ISO管理基準に基づく精度確認の為の温度校正も行っており、トレーサビリティ証明書、校正証明書を発行いたします。
※詳しくはお問い合わせください。
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基本情報
高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。新品の作製はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております。装置内汚染を最小限にする為、厳選した材料を使用しクリーンルーム内で製作いたします。また、高精度実現の為、厳選された素線を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします。ISO管理基準に基づく精度確認の為の温度校正も行っており、トレーサビリティ証明書、校正証明書を発行いたします。
※詳しくはお問い合わせください。
用途/実績例
【用途】熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとして、高温炉用装置で使用されています。
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