ウェハ搬送移載装置
弊社グループ会社で製作されるウェハ搬送移載装置はオープンカセット内のウェハ(4～8インチ)を別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。
ウェハ搬送移載装置 / Wafer Transport and Transfer System
ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」
- 半導体製造装置
- ウェハ搬送移載装置
- 天谷製作所
カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。
【特徴】
・4インチ～8インチウェハ用移載機
・CR内でのウェハの自動移載が可能
・2カセット同時やピッチ変換・Face to Face (Back to Back)等の機能を付加可能
※詳しくはお問い合わせください。
【特徴】
・4インチ～8インチウェハ用移載機
・CR内でのウェハの自動移載が可能
・2カセット同時やピッチ変換・Face to Face (Back to Back)等の機能を付加可能
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基本情報
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能です。
・オープンカセット←→オープンカセット移載
・オープンカセット←→石英(SiC)ボート移載
・2カセット同時移載
・ピッチ変換移載
・Face to Face (Back to Back) 移載
・長尺ボートへの枚葉式移載
※詳しくはお問い合わせください。
用途／実績例
【用途】・拡散工程/洗浄工程前後の運搬カセット-プロセス専用カセット間のウェハ移載
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